Snímání povrchu pomocí mikrovlnného mikroskopu

Abstract

Cílem práce bylo naměřit rezonanční křivky koaxiálního rezonátoru při skenování vodivého reliéfu a vytvořit z nich obraz povrchu. Rezonanční charakteristiky byly měřeny spektrálním analyzátorem FSH3 od firmy Rohde&Schwarz. Pro vyhodnocení naměřených dat byly vytvořeny programy v programovém prostředí MATLAB. Pro ověření funkčnosti výše uvedené laboratorní sestavy mikrovlnného mikroskopu bylo provedeno několik zkušebních měření a následné vytvoření obrazů.

The aim of this work was to measure the resonant curves of coaxial resonator during scanning of conducting relief. Relief of surface was created on the basis of measured curves. Resonance response of n.?/4 resonator was measured with spectral analyser FSH3 (Rohde&Schwarz). User programs were created in MATLAB software. Some trials were carried out for verification of mentioned laboratory microwave microscope kit.