Způsob zpřesnění a zrychlení mikroskopického hodnocení jakosti povrchu vzorku a relokační přípravek k provádění tohoto způsobu

Abstract

Hodnocený vzorek se nejprve upevní na pracovní plochu (1a) upínacího stolku (1) relokačního přípravku. Relokační přípravek jako celek se potom upne na stůl měřicího mikroskopu, kde se nalezne místo, na kterém se provede hodnocení jakosti povrchu a pomocí prvků (2, 3, 4) mikrometrického nastavení se, ve formě pravoúhlých souřadnic pracovní plochy (.DELTA.x, .DELTA.y) a úhlu rotace (.DELTA.ς) v ose na pracovní plochu kolmou, odečte poloha tohoto místa povrchu vzorku vůči jedné ze čtveřice polohovacích rysek (11b) umístěných na pracovní ploše (1a). Potom se relokační přípravek přemístí a upne na stůl zařízení pro hodnocení jakosti povrchu s tím, že zadáním souřadnic (.DELTA.x, .DELTA.y a .DELTA.ς) vůči příslušné polohovací rysce (1b) do měřicího systému zařízení pro kontrolu jakosti povrchu dojde k přesné lokalizaci místa povrchu vzorku určeného k hodnocení. Relokační přípravek je tvořen upínacím stolkem (1), který je na své pracovní ploše (1a) opatřen alespoň jednou polohovací ryskou (1b) a je spojen s prvky (2, 3) mikrometrického nastavení ve směru pravoúhlých souřadnic pracovní plochy (.DELTA.x, .DELTA.y) a dále s prvkem (4) mikrometrického nastavení úhlu rotace v ose (z) na pracovní plochu (1a) kolmou.

The method of making microscopic evaluation of a sample surface quality more accurate and quicker according to the present invention is characterized in that a sample under evaluation is first fastened onto a working surface (1a) of a relocation device-clamping table (1). The relocation device is then clamped as a unit on a table of a measuring microscope, where a spot is found on which the evaluation of the surface will be carried out. Using the micrometric setting elements (2, 3, 4) in the form of rectangular coordinates of the working surface ({DELTAx}, {DELTAy}) and a rotation angle ({DELTA ς}), the position of that spot of the sample surface is read out in the axis perpendicular to the working surface (1a) relative to one of the four positioning gauge marks disposed on the working surface (1a). Subsequently, the relocation device is moved and clamped on the table of the surface quality evaluation device such that by loading the coordinates {DELTAx}, {DELTAy} and {DELTA ς} relative to the corresponding positioning gauge mark into the measuring system of the surface quality evaluation device, accurate localization of the sample surface spot intended for evaluation. The relocation device consists of a clamping table (1) being provided on its working surface (1a) with at least one positioning gauge mark and being coupled with micrometric setting elements (2, 3) in the direction of axis (x, y) of the rectangular coordinates of the working surface (1a) and further, with the micrometric setting element (4) of the angle of rotation in the axis (z) being perpendicular to the working surface (1a).