Publikace UTB
Repozitář publikační činnosti UTB
Hiding E-beam exposure fields by deterministic aperiodic 2D patterning
Repozitář DSpace/Manakin
Kontaktujte nás | Jazyk: čeština English
- Domovská stránka DSpace
- →
- Článek ve sborníku
- →
- Univerzitní institut
- →
- Zobrazit záznam
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
| Název: | Hiding E-beam exposure fields by deterministic aperiodic 2D patterning |
| Autor: | Horáček, Miroslav; Knápek, Alexandr; Matějka, Milan; Krátký, Stanislav; Urbánek, Michal; Mika, Filip; Kolařík, Vladimír |
| Typ dokumentu: | Článek ve sborníku (English) |
| Zdrojový dok.: | Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. 2018, p. 36-36 |
| Zobrazit celý záznam | |
Soubory tohoto záznamu
Citace ČSN ISO 690:2011
Citace článku v konferenčním sborníku:
HORÁČEK, Miroslav, Alexandr KNÁPEK, Milan MATĚJKA, Stanislav KRÁTKÝ, Michal URBÁNEK, Filip MIKA a Vladimír KOLAŘÍK. Hiding E-beam exposure fields by deterministic aperiodic 2D patterning. In: Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation [online]. Brno: Czech Academy of Science, Institute of Scientific Instruments, 2018, s. 36-36.
Tyto citace vytvořil software a mohou obsahovat chyby. Pro ověření přesnosti si nastudujte příslušnou citační normu nebo příručku.
HORÁČEK, Miroslav, Alexandr KNÁPEK, Milan MATĚJKA, Stanislav KRÁTKÝ, Michal URBÁNEK, Filip MIKA a Vladimír KOLAŘÍK. Hiding E-beam exposure fields by deterministic aperiodic 2D patterning. In: Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation [online]. Brno: Czech Academy of Science, Institute of Scientific Instruments, 2018, s. 36-36.
Tyto citace vytvořil software a mohou obsahovat chyby. Pro ověření přesnosti si nastudujte příslušnou citační normu nebo příručku.
