Publikace UTB
Repozitář publikační činnosti UTB
Quality control in microelectronics using scanning probe microscopy
Repozitář DSpace/Manakin
Kontaktujte nás | Jazyk: čeština English
- Domovská stránka DSpace
- →
- Článek ve sborníku
- →
- Fakulta aplikované informatiky
- →
- Zobrazit záznam
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
| Název: | Quality control in microelectronics using scanning probe microscopy |
| Autor: | Kudělka, Josef; Martínek, Tomáš; Navrátil, Milan; Křesálek, Vojtěch |
| Typ dokumentu: | Recenzovaný odborný článek (English) |
| Zdrojový dok.: | 2016 21st International Conference on Microwave, Radar and Wireless Communications, MIKON 2016. 2016 |
| ISBN: |
|
| DOI: | https://doi.org/10.1109/MIKON.2016.7492107 |
| Abstrakt: | In this paper, atomic force microscopy and its variation scanning microwave microscopy were used for the characterization of microelectronics (PNP bipolar transistors on a chip and epitaxial layers with different properties on a silicon substrate). The capabilities of these methods in the quality control process are presented. © 2016 IEEE. |
| Plný text: | http://ieeexplore.ieee.org/document/7492107/?arnumber=7492107 |
| Zobrazit celý záznam | |
Soubory tohoto záznamu
Citace ČSN ISO 690:2011
Citace článku v časopise:
KUDĚLKA, Josef, Tomáš MARTÍNEK, Milan NAVRÁTIL a Vojtěch KŘESÁLEK. Quality control in microelectronics using scanning probe microscopy. 2016 21st International Conference on Microwave, Radar and Wireless Communications, MIKON 2016 [online]. 2016 [cit. 2024-11-22]. Dostupné z: http://ieeexplore.ieee.org/document/7492107/?arnumber=7492107.
Tyto citace vytvořil software a mohou obsahovat chyby. Pro ověření přesnosti si nastudujte příslušnou citační normu nebo příručku.
KUDĚLKA, Josef, Tomáš MARTÍNEK, Milan NAVRÁTIL a Vojtěch KŘESÁLEK. Quality control in microelectronics using scanning probe microscopy. 2016 21st International Conference on Microwave, Radar and Wireless Communications, MIKON 2016 [online]. 2016 [cit. 2024-11-22]. Dostupné z: http://ieeexplore.ieee.org/document/7492107/?arnumber=7492107.
Tyto citace vytvořil software a mohou obsahovat chyby. Pro ověření přesnosti si nastudujte příslušnou citační normu nebo příručku.
